欢迎访吉林市吉化北方超纯气体有限公司官方网站

吉林市吉化北方超纯气体有限公司
TAG:标准气体、电子气体、高纯气体、干冰

     
公司成立于1995年,隶属于吉化集团公司,公司已改制具有独立法人资格,是以高新技术的开发与应用为先导,严格按国家质量标准组织研制和生产特种气体为主的高科技经济实体。
  热门产品分类:标准气体、电子气体、高纯气体、干冰
     
您现在的位置 - > 首页 > 行业动态

行业动态

几种常见电子混合气体

发布时间:2019-03-15 作者:未知  来源:未知

    电子混合气体广泛用于大规模集成电路(L.S.I)超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。下面,吉林气体厂介绍几种常见的电子混合气体。

    1、外延生长混合气体
    外延生长是一种单晶材料淀积并生产在衬底表面上的过程,在半导体工业中,在仔细选择的衬底上选用化学气相淀积的方法,生长一层或多层材料所用的气体叫作外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,氧化硅膜淀积,氮化硅膜淀积,太阳能电池和其他光感器的非晶硅膜淀积等。

    2、蚀刻混合气体
    蚀刻就是将基片上无光刻胶掩蔽的加工表面(如金属膜、氧化硅膜等)蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,以便在基片表面上获得所需要的成像图形。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。
    干法化学蚀刻所用气体称为蚀刻气体。蚀刻气体通常多为氟化物气体(卤化物类),例如四氟化碳、三氟化氮、三氟甲烷、六氟乙烷、全氟丙烷等。

    3、掺杂混合气体
    在半导体器件和集成电路制造中,将某些杂质掺入半导体材料内,使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,以制造电阻、PN 结、埋层等。掺杂工艺所用的气体称为掺杂气。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼和乙硼烷等。通常将掺杂源与运载气体(如氩气和氮气)在源柜中混合,混合后气流连续注入扩散炉内并环绕晶片四周,在晶片表面沉积上掺杂剂,进而与硅反应生成掺杂金属而徙动进入硅。

    4、化学气相淀积混合气体
    化学气相淀积混合气体(CVD)是利用挥发性化合物,通过气相化学反应淀积某种单质或化合物的一种方法,即应用气相化学反应的一种成膜方法。依据成膜种类,使用的化学气相淀积(CVD)气体也不相同。

    5、 离子注入气体
    在半导体器件和集成电路制造中,离子注入工艺所用的气体统称为离子注入气,它是把离子化的杂质(如硼、磷、砷等离子)加速到高能级状态,然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在控制阀值电压方面应用得广泛。注入的杂质量可以通过测量离子束电流而求得。离子注入气体通常指磷系、砷系和硼系气体。

吉化北方超纯气体产品分类:标准气体 | 电子气体 |高纯气体 | 干冰
牛魔王论坛五肖10码免费资料